道益有限公司-落塵計數器
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EUV E-Reticle光罩ESD 追蹤設備
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          ●            生產線上測量在環境的電場

●            單次充電可長達6小時測試時間

●            可兼容ASML, NIKON, CANON曝光設備之光罩負載介面

●            設備及光罩尺寸符合 SEMI P1-1101 要求

●            應用於不同環境，提供2種規格，真空版本、濕製程版本

 
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