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E-Wafer晶圓ESD 追蹤設備

● Wafer生產線上測量在環境的電場

● 單次充電可達2小時測試時間

● 可兼容200mm & 300mm晶圓生產設備之負載介面

● 8個感應sensor感測不同位置靜電場變化

● 可於濕製程和真空環境使用

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