E-Reticle TM
E-Reticle光罩ESD 追蹤設備
● 生產線上測量在環境的電場
● 單次充電可長達6小時測試時間
● 可兼容ASML, NIKON CANON 曝光設備之光罩負載介面
● 設備及光罩尺寸符合 SEMI P1-1101 要求