Critical Environment Bench-top Blower
先進製程專用離子風機
Product code : DYEQ02-91-5802i (FMS)
● 提供製程/機台內 ESD Class 0 防護專用離子風機
● 潔淨等級符合 ISO class 4 ( FS209E Class 10)環境使用
● 具有警報監測機制(可監控);針尖自動清潔功能
● 提供最佳化之 +/- 3V Ion Balance voltage
● FMS : FMS model,FMS 功能及選配close-loop 效能控制