道益 TSI_AeroTrakTM Condensation Particle Counter (CPC) 無塵室奈米粒徑監測儀器
【Model : 9001 型 】
● 10 nm 粒徑量測技術 2.83 L /min (0.1 CFM) 取樣流量以及10,000筆 數據儲存
● Cleanroom certification report generation based on the ISO 14644-12 standard.
● working fluid,使用無塵室的DI water,避免造成有機物或酒精類在無塵室的汙染
● 三個檢測感應器設計,排除了錯誤計數問題(Low false-count rate)
● 可與HPD搭配使用於氣體管路之奈米粒徑Particles量測應用
● 搭配TSI FMS Software, 可做長時間監測奈米粒子之應用
● 適用業界：半導體、電子、AI、醫療醫藥、生技、無塵室、實驗室等
