具有進氣 0.1 um filter 99.9%效率之過濾器, 適合潔淨等級要求高的製程中使用
IsoStat專利技術無需校正
質輕,耐久材料; 本體為抗靜電材料材質 / 低工作電壓 (24VAC) , 操作安全
靜電消除能力: +/- 1000V-100V, 1 sec @ 6" 距離, 30 psi
Balance voltage: +/- 30V
Cleanroom Class: Meets ISO14644-1 Class 4 ( FS 209E Class 10)